真空熔铸炉

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真空热压烧结炉主要用于哪些方面!

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真空热压烧结炉主要用于哪些方面!

发布日期:2019-01-10 作者: 点击:

真空热压烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。

确认加热电源已停止。

炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。

冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。

停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。

如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。

真空热压烧结炉


如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。

在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。

通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。

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